Halbleitertechnik

Fortschrittlich und innovativ

Bei der Halbleiterfertigung kommen Rührwerke vor allem in der Konditionierung von Polier- und Schneidsuspensionen, Ätz- und weiteren Hilfschemikalien, Reinigungslösungen oder im Chemikalienrecycling zum Einsatz. Die Anforderungen an die Rührsysteme sind extrem hoch.

Es herrschen fast immer Reinraumbedingungen, daher müssen Antriebe und Dichtungen abrieb- und leckagefrei ausgeführt werden. Die mediumberührenden Teile, wie Welle und Rührelement, müssen wegen der Aggressivität der Medien und der Reinheitsanforderungen oft metallfrei gefertigt werden.

In diesem Bereich kann Geppert auf eine sehr erfolgreiche Geschichte zurückblicken. Alle bekannten Chiphersteller gehören zum Kundenkreis, ebenso wie die Hersteller der in diesem Bereich eingesetzten Spezialchemikalien. Zusätzlich finden unsere Rührwerke in weiten Bereichen der Solarzellenproduktion ihren Einsatz. Sowohl für die Chip- als auch für die Solarzellenherstellung liefert Geppert Jahr für Jahr einen bedeutenden Anteil von Rührwerken an einen Kreis zufriedener Stammkunden.

Anwendungsgebiete

Herstellung von Reinstchemikalien, Aufbereitung von Schneid- und Poliermitteln, Aufbereitung von Ätz- und Hilfschemikalien, Säureversorgung.

Ausführung

Leckage- und abriebfreie Dichtungssysteme, metallfreie Oberflächen, höchste Reinheit, Säurebeständigkeit, spaltarme Konstruktion, produktschonendes Rühren und Mischen, modernste Antriebs- und Steuertechnik, volleingehauste Antriebssysteme mit Laminarflow-Absaugung, emissionsfrei.

Material

Edelstahl beschichtet mit Perfluoralkoxy (PFA), Polytetrafluorethylen (PTFE) oder Ethylenchlortrifluorethylen (ECTFE).